技术编号：12459093
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及曝光工艺，具体地，涉及一种掩膜板，具有该掩膜板的曝光机，以及使用该曝光机曝光玻璃基板的曝光方法。背景技术显示器制造工艺的核心在于曝光工艺，即利用紫外线透过称为“掩膜板”的部件照射玻璃基板表面的光刻胶，使光刻胶性质发生变化。掩膜板通常是一种矩形的平板，其上制造有透光孔，使得紫外线在玻璃基板表面形成刻蚀图像。随着技术的进步，玻璃基板和显示器的尺寸越来越大，同时柔性玻璃技术的发展，使得“卷对卷”技术逐渐普及。在该背景下，当前的曝光工艺主要存在以下问题：一、随着玻璃基板尺寸的增大，掩膜板的尺寸...
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