一种基于弹性基底夹心叉指电容的表面应变检测器件的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12464595

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本发明涉及电容传感技术领域,尤其涉及一种基于弹性基底夹心叉指电容的表面应变检测器件。背景技术电阻应变片测量方法是测量应变的一种传统手段,但是电阻应变片因易受环境(如电磁场、温度、湿度、化学腐蚀等)影响,精度比较低,对于大应变有较大的非线性,输出信号较弱,所以其应用受到一定程度的限制。电容式传感器阻抗高功率小,测量待测值较小的物理量时有较高的灵敏度,温度稳定性好,传感器的电容值一般与电极材料无关,因此可以选择温度系数低的材料,结构简单,适应性强,动态响应好,是一种用途极广很有发展潜力的传感器。电容...
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