技术编号：12464678
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及液晶产品制作技术领域，尤其涉及一种测量设备及测量方法。背景技术常规的彩膜的膜厚测量设备和分光测量设备是各自分立的，膜厚测量设备依靠一根探针，在彩膜基板的表面上进行接触式划动，可以比较精确地测出彩膜的表面形态，从而得到各层的膜厚或者段差数据。但由于OC(平坦层)主要起到平覆作用，其表面较为平坦，且在Dummy(空白)区全覆盖，无法用接触法进行测量，所以需要采用分光测量设备进行测量，常规的采用分光测量设备进行测量的方法如下：以光谱仪搭配取像探头，测量光源入射基板及薄膜后的反射干涉光谱，并通...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。