技术编号:12464768
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及精密测量技术,具体涉及一种用于正交导轨平台的垂直度误差测量方法。背景技术对于垂直度误差最敏感的正交导轨运动平台,其垂直度误差占所有几何误差的30%以上。对于一般的精密运动平台,运动轴的各项几何误差除滚转角误差外,都可以使用双频激光干涉仪直接给予检测和分离。如英国Renishaw公司的XL-80型双频激光干涉仪,其分辨率为1nm,测量精度为±0.5ppm。可以看出,该仪器测量精度是无法满足高精度垂直度误差的测量要求的,因此,必须采用其他方法进行几何误差检测。目前常用测量垂直度的方法可以分...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。