技术编号：12464876
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光栅技术领域，具体的说，是涉及一种光栅刻划刀方位角的测量装置及其测量方法。背景技术衍射光栅是一种精密分光元件，机械刻划衍射光栅的原理是光栅刻划刀在镀有铝膜或金膜的光栅基底上挤压出一系列等间距的、规则槽形的光栅刻线。光栅刻划刀的各参数影响光栅刻线的槽形，进而影响刻划光栅的衍射效率、杂散光、鬼线等光栅性能指标。刻划衍射光栅前光栅刻划刀各参数中需要调节的参数有方位角、定向角和俯仰角，高质量衍射光栅的研制需要光栅刻划刀各角度精确的测量和调节。现有技术，光栅刻划刀方位角是否满足要求通过两条刻线中...
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