用于无TEC红外成像系统的CMOS工艺集成温度传感器的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12465241

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本发明涉及模拟集成电路领域,特别涉及一种可用于射频、数字模拟混合信号电路中,尤其是红外成像系统中,集成在芯片内部的小面积、低功耗温度传感器。背景技术温度是工业生产中最常见和最基本的工业参数之一,是与人类的生活、工作关系最密切的物理量之一,也是各学科与工程研究设计中经常遇到和必须精确测量的物理量。从工业炉温、环境气温到人体温度,从空间、海洋到家用电器,各个技术领域都离不开测温,测温技术也是发展最快、范围最广的技术之一,对温度进行准确的测量和控制也成为工业生产和科学研究中的重要任务之一。半导体材料的...
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