温度场均匀的温度传感器校准设备的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12465313

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本发明涉及一种校准装置,特别是一种温度场均匀的温度传感器校准设备。背景技术高精度温度传感器的测量精度受制造工艺偏差、封装应力等多方面因素的影响,为了达到芯片的精度设计要求,必须对经过初步筛选、封装后的温度传感器芯片进行校准。现有的温度传感器校准系统的结构,包括温度校准系统、温度测量仪器;温度校准系统用于采集待校准芯片的测量数据,温度测量仪器用于采集待校准芯片的工作环境温度数据。这种结构的主要缺点是:(1)温度测量仪器必须是高精度的,成本高。(2)校准过程中,温度测量仪器的温度探头很难与待校准芯片...
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