技术编号：12467216
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及载流子复合寿命测试研究领域，特别涉及一种可调控注入比的高频光电导寿命测试仪及其测试方法。背景技术在半导体材料及器件的生产过程中，所使用的生产设备几乎都含有金属，因此，重金属(主要是铁)对半导体材料的污染是普遍存在的问题，严重影响半导体晶体材料的性能。半导体材料的载流子复合寿命是评价半导体材料性能优劣的重要参数指标之一，它可以灵敏地反映出重金属含量的多寡，直接检测材料及器件性能，因此载流子复合寿命测试仪是半导体硅单晶、半导体器件、集成电路、铸造多晶、光伏企业，高等院校及研究院所重要的质量...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。