一种周期结构的石墨烯表面等离激元调制器的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12467921

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本发明涉及光通信技术,具体是一种周期结构的石墨烯表面等离激元调制器。背景技术电光调制器是利用某些电光晶体,如铌酸锂(LiNb03)晶体、砷化稼(GaAs)晶体和钽酸锂(LiTa03)晶体的电光效应制成的调制器。电光效应即当把电压加到电光晶体上时,电光晶体的折射率将发生变化,结果引起通过该晶体的光波特性的变化,实现对光信号的相位、幅度、强度以及偏振状态的调制。光调制器是光信号处理系统中的重要元件,探索速度高,宽带宽,体积小的可集成光学调制器是其发展的目标和方向。因而,找到一种可以与CMOS技术兼容...
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