技术编号:12468515
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施方式涉及用于使配方集(recipeset)的执行同步的系统和方法。背景技术等离子体系统被用于执行各种操作。例如,等离子体系统具有用于清洁晶片、在晶片上沉积材料、蚀刻晶片等的多个站。每个站由用于执行这些操作的一个或多个处理设备控制。信息在处理设备之间传输以执行操作。然而,为了传输信息,各处理设备遵循严密的时间表。例如,各处理设备必须处理预先指定的时间窗内的数据,然后才将经处理的数据提供给其它的处理设备。这样的时间窗要求导致处理设备昂贵。此外,在使用上述处理设备时数据传输速率在处理设备之...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。