技术编号:12478029
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示技术领域。更具体地,涉及一种薄膜晶体管的制造方法、阵列基板的制造方法和显示装置的制造方法。背景技术薄膜晶体管(ThinFilmTransistor,TFT)被广泛应用于显示技术领域。常规的薄膜晶体管制造方法需要至少两次构图过程以形成至少两个不同的掩模来进行掺杂,以在源极区域和漏极区域中形成轻掺杂区和重掺杂区。发明内容本发明的实施例提供了一种薄膜晶体管的制造方法、阵列基板的制造方法以及显示装置的制造方法。可以解决现有技术中的掺杂方法工艺复杂、参数控制难度较大、不良率发生较高的问题。本...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。