背照式高速光电二极管接收芯片及其制作方法与流程技术资料下载

技术编号:12478972

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本发明涉及芯片技术领域,具体而言,涉及一种背照式高速光电二极管接收芯片及其制作方法。背景技术随着光纤入户HTTP的推广和5G基站的建设,对高速光电二极管光接收芯片的需求也日趋迫切。目前10G高速光电二极管接收芯片已经成为现在技术应用的主流产品,25G、100G、400G的光电二极管接收芯片需求也处于高速发展的上升阶段。光电二极管接收芯片的速率主要取决于两个方面影响:一是由芯片光生载流子漂移速度所决定的渡越时间,如公式所示,其中υ为光生载流子的漂移速度,基本上为定值6×106cm/s,L为芯片外延...
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