技术编号:12479093
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光电子器件技术领域,尤其涉及一种紫外发光二极管(LED)器件的制备方法。背景技术紫外发光二极管(UV-LED)器件,因其在激发白光、生化探测、杀菌消毒、净化环境、聚合物固化以及短距离安全通讯等诸多领域的巨大潜在应用价值而备受关注。与传统紫外光源汞灯相比,AlGaN基UV-LED有寿命长、工作电压低、波长可调、环保、方向性好、迅速切换、耐震耐潮、轻便灵活等优点,随着研究工作的深入,将成为未来新型紫外应用的主流光源。然而,由于高品质AlGaN材料外延生长难度较高,以及紫外光提取困难等原因,...
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