发光二极管及其制作方法与流程技术资料下载

技术编号:12479104

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本发明涉及半导体制造领域,具体的说是一种发光二极管及其制作方法。背景技术发光二极管具有低能耗,高寿命,稳定性好,体积小,响应速度快以及发光波长稳定等良好光电特性,被广泛应用于照明、家电、显示屏及指示灯等领域。现有发光二极管之增光工艺,常见地于器件出光表面制作粗化面以增进出光效率。在粗化蚀刻区域通常会避开焊盘电极与扩展电极等区域,以避免粗化面影响电极与扩展条的平坦面。一般常用工艺会使用光刻胶作为掩膜,将光刻胶覆盖在欲遮盖的地方,通常位在电极与扩展条的位置,并大于等于电极与扩展条的区域面积,接着再进...
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