技术编号:12480843
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种新颖的抗蚀剂树脂及其制造方法。背景技术聚酰亚胺因耐热性、机械特性优异而在电子领域被广泛使用。以往,聚酰亚胺大多不溶于有机溶剂中,通常通过将前体的聚酰胺酸(polyamideacid)(聚酰胺酸(polyamicacid))的溶液涂布在基材上并以250℃以上的高温进行加热来进行有机溶剂的除去和酰亚胺化由此进行成型(膜化)。但是,该方法中由于高温下的加热而存在基材、周边材料有时发生劣化的缺点。因此,要求能够在更低温成型的聚酰胺酸和聚酰亚胺。例如,在专利文献1中公开了一种具有170℃至1...
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