技术编号：12483380
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及向基板供给处理气体而形成膜的成膜装置、成膜方法、以及用于成膜装置的基板载置台。背景技术用于有机EL显示装置的密封层等中使用了有机材料膜。公知有如下方法：在制造这样的有机材料膜时，利用气化器等使有机原料蒸发而向成膜室内供给，使它们在基板上蒸镀聚合而形成有机膜(例如专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特许4283910号公报发明内容发明要解决的问题不过，在利用蒸镀聚合在大面积的基板上形成有机材料膜的情况下，难以均匀地进行成膜。另外，在处理室内的除了基板以外的部分形成膜，因此，...
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