技术编号：12485684
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及形成有机EL元件中使用的叠层密封膜的叠层密封膜形成方法和形成装置。背景技术使用了有机EL元件的有机EL显示装置，由于低耗电且为自发光型，能够获得来自有机发光材料的多彩色调的发光，因此作为下一代的显示装置备受关注。有机EL元件，在呈矩阵状设置于衬底上的多个元件形成区域，以叠层有作为发光层的有机EL层和电极层等的状态形成。作为使用这样的有机EL元件的有机EL显示装置，已知有将作为有机EL层使用的进行白色发光的部件和具有与红(R)、绿(G)、蓝(B)对应的滤色部的滤色片组合而成的部件。形成有...
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