技术编号：12491389
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅棒制造技术领域，具体为一种硅棒真空吸盘机械手。背景技术金刚线切片主生产流程由锭检、粘胶、切片、脱胶、清洗、分选6个工序组成，其中前2个工序锭检和粘胶需要完成大量的搬运动作；目前单晶棒长度主要为300mm以上，最长部分可达620mm左右，重量近40kg，人员搬运非常困难且存在较大的安全隐患。目前业内存在的真空吸盘主要为300mm以下晶棒设计，无法适用单晶长棒；且操作复杂，空载状态和负载状态都无法任意悬停，需要人员一直握持，存在很大的作业难度。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种...
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