技术编号:12497035
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种高精度净化设备,特别是指一种高纯二氧化碳低温净化装置。背景技术随着我国高新技术的快速发展,集成电路(IC)、发光二极管(LED)、太阳能电池(SOLARCELL)、光导纤维(Light-guideFiber)等高新技术领域迅猛发展。高纯二氧化碳在此背景下,具有广阔的应用空间,其主要用于激光切割机的激光气体、电子工业、反应堆气体冷却剂、医学的临界萃取、胚胎细胞培养、科学研究等高新技术领域。在高新领域产品的生产过程中高纯二氧化碳气体对产品的最终质量起着十分重要的作用,其质量指标控制...
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