技术编号:12497046
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及乙硅烷的制备装置,具体涉及一种实现硅烷分离回收的多级乙硅烷精馏装置。背景技术乙硅烷作为一种电子气体,主要用于太阳能电池以及电子产品中。目前,太阳能电池及电子产品中所用到的非晶硅的生产中,非晶硅薄膜大部分采用硅烷作为淀积源。但乙硅烷与硅烷相比,具有沉积速度快、沉积温度低的优点,因此乙硅烷的市场前景很大。现在制备乙硅烷的方法也有很多,其中包括硅化镁与氯化铵置于在液氨中反应,得到硅烷、乙硅烷、氨气和氢气等混合气体。因此,需要通过精馏获得高纯度的乙硅烷。目前的精馏设备可能会有氨气残留,影响...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。