技术编号：12507766
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光学器件技术领域，尤其涉及一种ZYGO激光干涉仪测量用调节定位夹具。背景技术ZYGO非接触式激光干涉仪是用于精密光学元件的表面面形和透射波阵面等的检测的光学检测仪器。ZYGO非接触式激光干涉仪运用移相干涉原理，能够对高精度的平面面形、球面面形、曲率半径等光学零件进行测量和分析，ZYGO非接触式激光干涉仪能够利用互动图形界面控制仪器，系统操作简单，已广泛被光学器件生产厂家采用。在使用ZYGO非接触式激光干涉仪对光学零件进行测量和分析时，需要先将光学零件固定在仪器平台上的测量定位夹具上...
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