技术编号:12509759
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种为了形成液晶显示器及微机电系统显示器等显示装置用薄膜晶体管的电极等而使用的铝溅镀靶材。背景技术铝薄膜因电阻低、蚀刻加工容易,故被用作液晶显示器等显示装置的扫描电极及信号电极。铝薄膜的形成一般而言是利用使用了溅镀靶材的溅镀法来进行。作为溅镀法以外的金属薄膜的主要成膜方法,已知有真空蒸镀法。与真空蒸镀法等方法相比较,溅镀法在可形成与溅镀靶材为同一组成的薄膜的方面具有优点。而且为工业上可大面积地稳定成膜的方面也优越的成膜方法。作为溅镀法中使用的铝溅镀靶材,已知例如专利文献1及专利文献2中...
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