技术编号：12511276
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种装置，其用于在激光加工工件时测量在工件的反射的工件表面与反射的基准面之间的间距，该装置具有干涉仪，该干涉仪具有：分束器，所述分束器将干涉仪光分到测量臂上作为测量射束以及分到基准臂上作为基准射束；和探测器，该探测器探测在工件表面上被反射的测量射束和在基准面上被反射的基准射束，其中，测量臂和基准臂在干涉仪光的相干长度之内是等长的。背景技术干涉仪用于在激光加工过程期间进行间距测量。为此，将两个干涉仪臂(＝测量臂)中的一个的辐射与加工激光近乎同轴地对准工件，该工件用作干涉镜。优选，将测量射...
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