技术编号:12511457
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种传感器、包括传感器的过滤元件和包括传感器的过滤元件的应用。背景技术由DE102010044616A1已知一种用于滤芯的微系统。由DE102009040707A1已经已知过滤元件,其中,传感器配置给过滤介质。在已知的过滤元件中不利的是,传感器经常相对大地构成,以便检测和评估一个或多个物理的参量。这样的过滤元件的制造相对昂贵。此外较大的传感器难以在过滤元件上装配。尤其是10-500Pa的范围中的非常小的压差的检测在现有技术中只以相对大的传感器实现并且要求许多结构空间。此外将这样相对大的...
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