技术编号:12511552
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般来说涉及用于产生晶片的缺陷样本的方法及系统。背景技术以下描述及实例并非由于其包含于此章节中而被认为是现有技术。在晶片检验处方的设置期间的最重要任务中的一者是识别可在晶片上检测的尽可能多的缺陷类型。由于自动化处方设置及调谐变得较重要,因此对针对此优化而自动识别缺陷的良好集合的需要也变得越来越重要。在不具有良好训练集合的情况下,自动化优化无法很好地起作用。另外,在制造斜升期间,当高的且未知的缺陷率是问题时,识别晶片上的所有缺陷同样重要。在此情况下,主要将关注放在危险的缺陷上。随着光学检验中...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。