技术编号:12511782
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及探针及具备该探针的电子设备。背景技术半导体装置或LSI(LargeScaleIntegration)等中,在其制造工序中,使用具备探针的电子设备进行通电试验,进行是否正常发挥功能的确认。在该通电试验中使用的电子设备中,通常使用两端的触点沿着同一直线进行往复移动的所谓的直线型的探针。但是,上述的通电试验将半导体装置等检查对象物和检查装置利用探针进行电连接。但是,随着检查装置及检查对象物的多样化,难以将检查对象物和检查装置直线性地连接,利用直线型探针进行应对变得困难的情况不断增加。作为解决...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。