光电集成芯片、具有光电集成芯片的光学部件和用于生产该光电集成芯片的方法与流程技术资料下载

技术编号:12512033

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本发明涉及光电集成芯片、具有这种芯片的光学元件和用于生产这种芯片的方法。将术语“光电集成芯片”理解为具有基板和位于(如生长在或者沉积在)所述基板上的材料层的集成芯片,并且在该集成芯片中,一个或者多个光电部件(如波导、耦合器等)集成在材料层中的一个或者多个材料层中。背景技术当开发光学部件时,特别是当开发集成光学部件时,常常出现必须将光从一个部件传输至另一个部件的问题,例如,把光从激光器传输到芯片上的波导或者把光从芯片传输到纤维。在这种情况下,一方面,基本上能够将这两个部件相邻放置并且把光水平地耦合...
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