技术编号：12512041
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微机电系统光子交换机的设备和方法本申请要求2014年9月24日提交的申请号为14/495,475、标题为“微机电系统光子交换机的设备和方法”的美国非临时申请的优先权，在此以全文引用的形式并入本申请。技术领域本发明涉及光子学，并且更具体地，涉及一种微机电系统(micro-electro-mechanical-system，MEMS)光子交换机的设备和方法。背景技术一种光子交换机为三维(threedimensional，3D)微机电系统光子交换机。MEMS光子交换机具有优异的性能，例如实现高端口计数...
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