技术编号：12512247
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用于垂直结构的半节点缩放背景领域本公开的各方面涉及半导体器件，尤其涉及用于垂直结构的半节点缩放。背景技术随着集成电路(IC)技术的进步，器件的几何形状减小。在主要“全节点”技术转换之间，器件设计者在成熟技术节点内利用器件减小。此类器件大小减小可被称为“半节点”缩放。在半节点缩放中，芯片上的器件的面积在二个维度(即，x和y)上减小特定量。经半节点缩放的版本占据较小的管芯面积并且由此可针对每个晶片产生更多的IC副本。这降低了成本，因为在不改变布局设计的情况下产生附加器件，并且原始器件模型可被用于对减...
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