抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液、抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液的制造方法及抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液的收容容器以及使用这些的图案形成方法及电子元件的制造方法与流程技术资料下载

技术编号:12512280

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本发明涉及一种抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液、抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液的制造方法、及抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液的收容容器、以及使用这些的图案形成方法、电子元件的制造方法及电子元件。更详细而言,本发明涉及一种适合于集成电路(IntegratedCircuit,IC)等的半导体制造步骤、液晶及热能头(thermalhead)等的电路基板的制造、及其他感光蚀刻加工(photofabrication)的微影步骤的抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液、抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液的制造方法、及抗蚀剂...
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