技术编号：12513907
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具备具有共用的回转轴线的左右臂的衬底搬送机器人及其运转方法。背景技术以往，作为用以搬送半导体晶片等衬底的衬底搬送机器人，已知具备左右臂的衬底搬送机器人。衬底搬送机器人的各臂具有：第1连杆部件，能够绕回转轴线旋转；第2连杆部件，能够旋转地连接于第1连杆部件的前端部；及衬底保持部件(手部)，能够旋转地连接于第2连杆部件的前端部。为了简化机器人构造等，在具备左右臂的衬底搬送机器人中，有将左右臂的回转轴线共用化的衬底搬送机器人(专利文献1)。在该类型的衬底搬送机器人中，以同样长度构成第1连...
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