包含铁电材料的凹陷晶体管的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12514005

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本发明涉及包含铁电材料的凹陷晶体管。背景技术存储器是一种类型的集成电路,且用于计算机系统中以存储数据。可将存储器制造成一或多个个别存储器单元阵列。可使用数字线(其也可称为位线、数据线、感测线或数据/感测线)及访问线(其也可称为字线)而使存储器单元被写入或被读取。数字线可沿着阵列的列导电性地互连存储器单元,且访问线可沿着阵列的行导电性地互连存储器单元。可透过数字线与访问线的组合唯一地寻址每一存储器单元。存储器单元可为易失性或非易失性。非易失性存储器单元可长期(含括计算机断电时)存储数据。易失性存储...
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