技术编号:12514474
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及离子源,特别涉及新型离子束强化装置。背景技术离子束喷射强度是由离子束形成的长度、速度与喷射管径决定,即在合理的进气速率与喷射管径下,输出很强的离子束,实现高效的放电气体利用效率。目前解决离子束强度优化的方法:1)减小喷射管径直径,该方法使得喷射的离子束加有较高的速率,但是离子束密度与单位截面的离子数总量减少,从而降低了离子束强度,且在相对较快的气体流速下,可能会导致放电不充分;2)减小进气速率,该方法适用于多样品连续进样环境,但会使得离子束密度减小,导致离子束强度不高。实用新型内容...
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