技术编号:12521236
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于电弧靶设备技术领域,具体涉及一种MCrALY专用超厚膜电弧靶。背景技术随着航空技术的发展,对飞机的要求越来越高,飞机速度快,机动性好,主要取决于发动机的性能。MCrALY(M=Ni,Co或Ni+Co,Cr是铬,Al是铝,Y是钇)涂层是发动机上重要涂层之一,能显著提高发动机叶片、机匣的使用寿命,用做热障涂层、封严涂层的过渡底层。涂层厚度要求大约100μm。采用电弧离子镀制备,所镀膜层厚,单次靶材消耗量大,电弧阴极靶材需足够厚,现有电弧靶结构不能满足这种厚度,还没有达到就需膜层厚度就要...
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