技术编号：12530402
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及传感器技术领域，特别是涉及一种电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路。背景技术电容型MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems，微机电系统）惯性传感器包含MEMS陀螺和加速度计，是将物体运动角速度或加速度转换为电容值的微型传感器，具有微型化、低功耗、低成本等优势。目前常见电容型MEMS惯性传感器接口电路有开环检测和闭环检测两种方式。闭环检测是将电容检测结果通过静电力反馈到传感器敏感质量块上构成负反馈环路，达到传感器质量块在中心位置附近变化的...
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