技术编号:12537585
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种长杆离子源,具体涉及一种长杆离子源进气结构。背景技术离子源是使中性原子或分子电离,并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。常用离子源工作过程采用电离气体原子或者分子从而引出等离子体。本实用新型针对的是:由于设计的长杆离子源内部空腔直径为28mm,其结构细长内部空间狭小,为了克服在有限的空间里不仅需要安装进气结构,还需要安装正负电极冷却水循环结构、灯...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。