技术编号:12537588
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种长杆离子源,具体涉及一种长杆离子源冷却水循环结构。背景技术离子源是使中性原子或分子电离,并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。离子源工作过程中释放大量的热能需要一定的冷却循环结构来带走热量从而实现稳定长久运行。长杆离子源由于结构细长内部空间有限,在狭小的空间里不仅需要安装冷却水循环结构还要安装进气和供电装置,内部空间极其有限,因此在有限的空间里对...
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