技术编号：12537691
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及超薄板件材料的加工辅助夹持设备，特别是指一种平板型静电卡盘装置。背景技术在平板显示器(FPD)制造工艺过程中，特别是针对液晶显示器(LCD)以及有机电激光显示(OLED)产品，为避免激光加工过程中工件出现偏移及错位现象，常使用吸盘或卡盘来固定和支撑工件。常用的吸盘或卡盘有真空吸盘与静电卡盘(ElectroStaticChuck，ESC)。目前现有技术中真空吸盘的结构示意图如图1所示，真空吸盘的结构较为简单，主要由吸盘基板1以及其内部包含的真空气道2所组成。吸盘基板1用来放置被加工工...
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