技术编号：12541275
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及将涂布液涂布于被输送的基板上的涂布装置。背景技术在液晶显示器等平板显示器、太阳能电池板等上使用形成有像素、电路图案等的基板，这样的基板是通过利用例如涂布抗蚀剂液(涂布液)而进行的光刻技术来制造。另外，作为将涂布液涂布在基板的装置，已公开有如下的涂布装置，该装置包括：平台，用于将基板水平固定；喷嘴，在宽度方向上在内部形成有长长的细缝口；根据该涂布装置，通过对平台上的基板使喷嘴向水平方向移动的同时从细缝口排出涂布液，由此，能够在基板表面上形成由涂布液形成的涂布膜。另外，从细缝口排出涂布液时...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。