技术编号：12547980
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及液体处理设备，具体地说是一种液体均匀喷洒处理系统及其处理方法。背景技术在设备生产过程中，因过程复杂成本高昂，对产能和合格率要求非常严格。在设备实际生产中，会经常因设备的某种液体流量的不均匀性而导致产能降低、无法满足产品合格率。现阶段液体流至工作区域，而流量的不均匀性无法保证工艺需求，需要进行多次调整，严重影响作业时间，降低合格品率。例如，在对晶圆进行涂履时，如果涂履液在晶圆表面喷洒不均匀，就会导致晶圆表面涂履薄厚参差不齐，需要进行多次调整、直至喷洒均匀，严重影响了生产效率，降低了晶圆的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。