基于石墨烯的位置灵敏光探测器的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12552767

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本发明涉及一种基于石墨烯与硅协同作用的位置灵敏光探测器。本发明属光电子器件领域。背景技术位置灵敏探测器是基于横向光电效应的一种光学位置探测器,目前已广泛应用于工业,工程,航天和军工领域。现有的位置灵敏光探测器多是基于硅材料,具有良好的分辨率和响应时间,但是其响应度低,探测的光强通常在微瓦级别,不能实现纳瓦级别弱光位置灵敏探测,这在实际应用中受到严重的限制。在实际应用中,检测的光多为反射光,经过长距离的传输和散射,实际探测到的光可能十分微弱。比如在激光制导中,位置灵敏探测组件的最小探测功率(Pmi...
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