技术编号：12553864
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微纳与超精密制造以及多轴运动平台精密控制领域，特别是涉及一种三压电垂直驱动的三维椭圆微位移运动平台。背景技术近年来，精密超精密加工技术逐渐成为机械制造业中重要的组成部分，其发展水平更是衡量一个国家制造业水平的重要标志之一。精密超精密加工具有广泛的应用前景，其超精密加工技术不仅仅适用于各种微小零部件及模具的切削加工、微腔模具的铣削加工、电子元器件的加工(例如硅晶片的加工)等国民经济建设领域，对于国防、航空航天工业中加工激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用球面、非球面大型零件等也具有非常...
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