一种大口径光学元件双面抛光机的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12555063

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本发明属于光学元件加工技术领域,尤其涉及一种大口径光学元件双面抛光机。背景技术随着现代光学系统的发展,特别是高功率激光装置的迅速发展对大口径光学元件加工提出了更高的要求。除了对面形精度、平行度、生产周期和生产成本有严格的要求外,光学表面小尺寸制造误差也越来越受到人们关注。光学表面小尺寸制造误差可导致光束的高频调制与系统的非线性增长,易造成光学元件损伤和降低光束可聚焦功率。目前国内外的大型环抛机采用单面抛光的方式,加工精度依赖于操作人员的经验,对操作人员要求高,并且在加工具有透射波前的光学元件时,...
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