一种圆弧形复合节流空气静压止推轴承的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12556124

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本实用新型涉及一种圆弧形复合节流空气静压止推轴承,属于精密测量设备技术领域。背景技术气体静压止推轴承具有摩擦功耗低、运动精度高、低速时不出现爬行和蠕动、运动平稳、寿命长、无污染等一系列优点,广泛应用于三坐标测量机、超精密机床、电子加工、医疗器械领域。传统对空气静压止推轴承的研究只局限于,改变工作参数或者结构参数对止推轴承承载力和静刚度的影响,随着制造业的发展,对运动精度要求在未来会达到几个纳米甚至亚纳米级别,只从宏观量上改变静压止推轴承的工作参数或者结构参数来研究静压止推轴承的静特性和动特性显得...
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