技术编号：12556127
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于超精密运动、超精密测量技术领域，具体涉及一种真空预载气浮转台。背景技术静压气浮支承利用支承工作面之间充满的压力气体来支承负载并实现平稳动作，具有无直接接触、摩擦阻力小且近似恒定、工作温度范围宽、环境适应能力强、精度高、使用寿命长等系列优点，被广泛应用于各类专用高精度测量装置、精密/超精密加工等领域，是保障产品精度的关键核心部件之一。气浮支承有开式和闭式两种结构。开式气浮支承结构简单，制造容易，但仅能承受单向载荷，刚度较低，稳定性差；闭式气浮支承可以同时承受双向载荷，刚度高，稳定性好...
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