技术编号:12560834
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及在各种电子设备中所用的传感器元件。背景技术图9是在专利文献1公开的现有的传感器元件1的立体图。传感器元件1由支承部2、固定在支承部2的抵接部3的固定部6、固定在抵接部5的固定部4、和与固定部4、6连接的驱动臂7构成。固定部4、6具有T字形状,由Si构成。在固定部4的上表面设有一对驱动电极焊盘8,在该一对驱动电极焊盘8之间设有监视电极焊盘9。在固定部6的上表面设有一对检测电极焊盘10,位于检测电极焊盘10之间地设置了监视电极焊盘11。在固定部6的上表面设有GND电极焊盘12。图10是...
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