一种采用斜梯形运动转换的精密压电粘滑直线式驱动装置的制作方法技术资料下载

技术编号:12568228

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本实用新型涉及一种采用斜梯形运动转换的精密压电粘滑直线式驱动装置,属于微纳精密驱动与定位技术领域。背景技术压电粘滑直线式驱动装置是一种利用压电元件的逆压电效应,在非对称电信号激励下激发振子(或称定子)产生微幅振动,通过振子与动子间的摩擦耦合实现机械能输出的精密微纳驱动装置。按照驱动工作原理的不同,压电粘滑直线式驱动装置主要分为共振型压电粘滑直线式驱动装置与非共振型压电粘滑直线式驱动装置两大类。与共振型压电粘滑直线式驱动装置相比,非共振型压电粘滑直线式驱动装置具有结构简单紧凑、定位精度高和控制方便...
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