技术编号：12568668
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微纳米结构与微加工工艺相交叉的，更具体地说，涉及一种集成有碳-碳纳米管复合材料微铰链结构的XY微型水平仪及微制作方法。背景技术碳纳米管作为一种可用于机械强化作用的高韧性纤维状材料，已用于很多体系的复合材料中。如许多其他材料与其复合后可得到具有优异性能的新材料及其微纳结构，并在微纳器件及系统中显示出独特而深具潜力的应用前景。碳-碳纳米管复合材料的弹性系数比硅低，并且没有明显的机械延滞效应。在微纳电子机械系统中，碳-碳纳米管复合材料微纳结构可作为驱动器拉伸、弯曲、扭转部位的候选材料。微水平...
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