技术编号：12584793
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于超隔振与精密定位领域，具体涉及一种两自由度隔振与精密定位的复合主动隔振器。背景技术当前，在高端IC芯片制造领域与超精密检测领域，对环境微振动隔离和精密定位的要求越来越严格。而一般的超精密减振器，往往只具备精密隔振的作用，而一些高端微动平台只具备精密定位的作用。由于减振的需要，一些微运动平台的定位精度被大大衰减，因此迫切需要一些新技术、新方法来改善这一现状。液压缸+金属弹簧、压电致动器+弹簧膜片、音圈电机+空气弹簧等一些手段可极大地提高这类精密减振器的定位与减振能力。液压缸+金属弹簧的组...
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