技术编号:12588735
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种激光干涉仪的光路调校装置,还涉及上述调校装置的调校方法,属于光学精密测量领域。背景技术激光干涉仪是高精度测量仪器,为达到仪器的技术指标,除了元器件质量保证以外,在装配过程中对光轴的调校也很重要。发明内容发明目的:本发明所要解决的技术问题是提供一种激光干涉仪的光路调校装置,该装置使调校后的激光干涉仪输出均匀的平行光,成像清晰。本发明还要解决的技术问题是提供上述激光干涉仪光路调校装置的调校方法。为解决上述技术问题,本发明所采用的技术方案为:一种激光干涉仪的光路调校装置,包括测试光路和成...
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